電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション

• 三田 信

  宇宙航空研究開発機構　宇宙科学研究所

• 丸山 智史

  東京大学　先端科学技術研究センター

• 安宅 学

  東京大学　生産技術研究所

• 年吉 洋

  東京大学　先端科学技術研究センター

書誌事項

タイトル別名

• A Simulation of MEMS Voltage-Frequency Convertor with Electronic Circuit Simulator
• デンキ カイロ シミュレータ オ モチイタ MEMS デンアツ-シュウハスウ ヘンカンキ ノ シミュレーション

抄録

An electrostatic micro actuator with an electrical contact between the electrodes is known to show a limit-cycle behavior due to the combination of electrostatic pull-in and release. We newly used an electrical circuit simulator to make an equivalent circuit model to reproduce the limit-cycle by multi-physics simulation. This simulation results were found to explain the experimenntally observed behavior of the developedMEMS voltage to frequency convertor (VFC).

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 132 (7), 189-194, 2012

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• シミュレーション
• 電圧－周波数変換
• 電圧制御発振器

詳細情報

• CRID: 1390001204460150912
• NII論文ID: 10030778699
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.132.189
• BIBCODE: 2012IJTSM.132..189M
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 023885304
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023885304
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/7/132_189/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可