希釈イオン液体による絶縁性試料のSEM-EDX分析―火山灰への応用―

  • 澤 龍
    京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
  • 今宿 晋
    京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
  • 河合 潤
    京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
  • 味喜 大介
    京都大学防災研究所附属火山活動研究センター
  • 東野 達
    京都大学大学院エネルギー科学研究科エネルギー社会・環境科学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • SEM-EDX Analysis of Insulator Specimens by Diluted Ionic Liquid — Application to Volcanic Particles —
  • キシャク イオン エキタイ ニ ヨル ゼツエンセイ シリョウ ノ SEM-EDX ブンセキ : カザンバイ エ ノ オウヨウ

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抄録

エタノールで1 wt% に希釈した1-ethyl-3-methylimidazolium acetateを絶縁性試料の走査型電子顕微鏡(SEM)観察における帯電防止剤として用いた.その上で,微小領域における元素分析をエネルギー分散型X線分析(EDX)で行った.絶縁性試料として火山灰を用いたところ,従来の炭素薄膜を蒸着する帯電防止法と同様に10 μm2の微小領域で粒子の元素組成の違いを判別することができた.また,粒子径が10 μm以下の火山灰については帯電防止処理を行わなくても鮮明な二次電子像が得られたが,粒子径が20 μm以上の火山灰については鮮明な二次電子像を得るためには帯電防止処理が必要であることが分かった.

収録刊行物

  • 分析化学

    分析化学 61 (11), 947-951, 2012

    公益社団法人 日本分析化学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (19)*注記

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