Cu-Zr合金のSi-LSI配線材料への適応

• 坂口 直志

• 東藤 勇

書誌事項

タイトル別名

• Cu Zr ゴウキン ノ Si LSI ハイセン ザイリョウ エ ノ テキオウ

抄録

記事分類: 電気工学--電気材料・部品

収録刊行物

• 釧路工業高等専門学校紀要 = Research reports Kushiro National College of Technology / 釧路工業高等専門学校 編

  釧路工業高等専門学校紀要 = Research reports Kushiro National College of Technology / 釧路工業高等専門学校 編 (28), p57-60, 1994-12

  釧路 : 釧路工業高等専門学校

詳細情報

• CRID: 1520572360380944768
• NII論文ID: 110000174949
• NII書誌ID: AN00065852
• ISSN: 0455017X
• NDL書誌ID: 3598447
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3598447
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles