イオンビームアシスト蒸着法によるSiNx膜の製作

• 岩瀬 満雄

Bibliographic Information

Other Title

• イオン ビーム アシスト ジョウチャクホウ ニ ヨル SiNx マク ノ セイ

Abstract

記事分類: 電気工学--電気材料・部品

Journal

• 東海大学紀要. 工学部 = Proceedings of the School of Engineering of Tokai University

  東海大学紀要. 工学部 = Proceedings of the School of Engineering of Tokai University 31 (1), p23-30, 1991

  平塚 : 東海大学工学部

Details

• CRID: 1520853835149027840
• NII Article ID: 110000193916
• NII Book ID: AN00157101
• ISSN: 05636787
• NDL BIB ID: 3769656
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/3769656
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3769656
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles