集束イオンビームの探針加工への応用

• 佐々木, 泰

• 末岡, 和久

• 岩田, 達夫

• 宮尾, 正大

• 安達, 洋

• 早川, 和延

• 武笠, 幸一

書誌事項

タイトル別名

• Study of Focused Ion Beams for Probe Tip Milling
• シュウソク イオン ビーム ノ タンシン カコウ エ ノ オウヨウ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器--電子顕微鏡

収録刊行物

• 北海道大學工學部研究報告

  北海道大學工學部研究報告 174 41-47, 1995-07-28

  北海道大学

詳細情報

• CRID: 1050282813981454592
• NII論文ID: 110000341155
• NII書誌ID: AN00230223
• HANDLE: 2115/42448
• NDL書誌ID: 3613649
• ISSN: 0385602X
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3613649
• 本文言語コード: ja
• 資料種別: departmental bulletin paper
• データソース種別:
  • IRDB
  • NDL
  • CiNii Articles