ナノインデンテーション法によるLaNi5スパッタ薄膜の機械的特性の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- ナノインデンテーションホウ ニ ヨル LaNi5 スパッタ ハクマク ノ キカイテキ トクセイ ノ ヒョウカ
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収録刊行物
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- 東北大学素材工学研究所彙報
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東北大学素材工学研究所彙報 56 (1・2), 17-24, 2000-12
仙台 : 東北大学素材工学研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832340493824
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- NII論文ID
- 110000589899
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- NII書誌ID
- AN10405196
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- ISSN
- 09194827
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- NDL書誌ID
- 5692029
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles