エポキシ変性ポリイミド系接着剤の引きはがし強度に及ぼす窒化アルミニウム基板の表面形状の影響

  • 浅井 博紀
    株式会社東芝研究開発センター表示材料・デバイス研究所
  • 岩瀬 暢男
    株式会社東芝研究開発センター表示材料・デバイス研究所
  • 須賀 唯知
    東京大学先端科学技術研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Influence of Substrate Surface Shape on Peel-off Strength between Aluminum Nitride Substrates and an Epoxy Modified Polyimide Adhesive.
  • エポキシ ヘンセイ ポリイミドケイ セッチャクザイ ノ ヒキハガシ キョウド ニ オヨボス チッカ アルミニウム キバン ノ ヒョウメン ケイジョウ ノ エイキョウ

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抄録

Adhesion between aluminum nitride (AlN) substrates and plastic parts has an important bearing on the development of the plastic and AlN laminated package. This paper reports the influence of surface shape of A1N substrates on peel-off strength between an epoxy modified polyaminobismaleimide adhesive and the substrates. Although peel-off strength increased when the surface became rougher, values differed according to surface treatment method. Surface roughness of each AlN grain, which showed nanometer order, contributes to the increase of peel-off strength. The change of substrate surface to oxidized phase will also contribute to an increase in peel-off strength. Moreover, decrease of non-polar carbon hydride on the substrate surface facilitates an increase in peel-off strength.

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参考文献 (17)*注記

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