メカノケミカルポリシングの研究-2-Si単結晶のメカノケミカルポリシングにおける加工速度促進機構

• 唐木 俊郎

• 三宅 正二郎

• 渡辺 純二

書誌事項

タイトル別名

• メカノケミカル ポリシング ノ ケンキュウ 2 Si タンケッショウ ノ メカ

抄録

記事分類: 機械工学--機械工作--研削加工

収録刊行物

• 精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌

  精密機械 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering : 精機学会誌 46 (3), p331-337, 1980-03

  東京 : 精機学会 ; [1933]-1985

詳細情報

• CRID: 1523951028259117696
• NII論文ID: 110001290901
• NII書誌ID: AN00130014
• ISSN: 03743543
• NDL書誌ID: 2173640
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I2173640
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles