精密工学を支える電磁アクチュエータ  マイクロ振動モータの開発動向

書誌事項

タイトル別名
  • Technology Trend of Micro-Vibration Motor
  • カイセツ マイクロ シンドウ モータ ノ カイハツ ドウコウ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 69 (11), 1538-1541, 2003

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (2)*注記

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