ＡＣリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め　（第１報）　システムの構成と粗・微動制御

DOI Web Site 被引用文献23件
  • 二見 茂
    新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト(現,(株)安川電機製作所つくば研究室)
  • 古谷 彰浩
    新技術事業団吉田ナノ機構プロジェクト(現,(株)安川電機製作所つくば研究室)

書誌事項

タイトル別名
  • Nanometer positioning using AC linear motor and rolling guide. (1st report). System set-up and coarse/fine positioning.
  • AC リニア モータ ト コロガリ アンナイ オ モチイタ ナノメータ イチギメ
  • System Set-up and Coarse/Fine Positioning
  • システムの構成と粗・微動制御

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抄録

A one-axis stage mechanism, driven by an AC linear motor and guided by a rolling ball guide, has been constructed. Non-contact drive and position-sensing are adopted. The dynamic characteristics of the stage are different in different displacement regions. Two different controls are designed for coarse and fine positioning by using different dynamic characteristics. A coarse positioning with 100 nm resolution, 200 mm/s maximum velocity and 250 mm stroke, and a fine positioning with better than 1 nm resolution without backlash are achieved. The switching from the coarse positioning to the fine positioning is studied.

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 57 (3), 556-561, 1991

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (23)*注記

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