特集　真空技術　アルミニウム系真空容器技術の現状

• 末光 眞希

  東北大学電気通信研究所

書誌事項

タイトル別名

• Special Issue on Vacuum Technology. Constructions of Aluminum-alloy Ultrahigh Vacuum Chambers.
• アルミニウムケイ シンクウ ヨウキ ギジュツ ノ ゲンジョウ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 57 (9), 1541-1544, 1991

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• ultra high vacuum chamber
• aluminum alloy
• surface treatment
• outgassing rate
• surface roughness

詳細情報

• CRID: 1390001204764164736
• NII論文ID: 110001370778
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.57.1541
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 3729552
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3729552
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles