シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用 (第1報)

• 高野 登

  富山大学工学部

• 森田 昇

  富山大学工学部

• 林 弘樹

  富山大学大学院

• 川堰 宣隆

  富山大学大学院

• 山田 茂

  富山大学工学部

• 大山 達雄

  富山大学工学部

• 神田 一隆

  (株) 不二越

• 高野 茂人

  (株) 不二越

• 小幡 勤

  富山県工業技術センター

書誌事項

タイトル別名

• Development and its Applications of Diamond Array Tool using Silicon Mold (1^st Report)
• シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第1報)シリコンモールドによるダイヤモンドアレイ工具の作製
• シリコンモールド オ モチイタ ダイヤモンドアレイ コウグ ノ カイハツ ト オウヨウ ダイ1ポウ シリコンモールド ニ ヨル ダイヤモンドアレイ コウグ ノ サクセイ
• Development and its Applications of Diamond Array Tool using Silicon Mold (1st Report)
• —Fabrication of Diamond Array Tool using Silicon Mold—
• —シリコンモールドによるダイヤモンドアレイ工具の作製—

抄録

In this study, we proposed a fabrication process of diamond array tool for micro-to-nano machining. The diamond array tools are fabricated by depositing polycrystalline diamond using CVD on silicon molds which are made by anisotropic wet etching of the single crystal silicon. It has a characteristic which can control a tip shape of cutting edge with different silicon planes. Moreover, the sizes and the arrangements of cutting edge are decided minutely by changing mask pattern on silicon substrate. The diamond array tools are expected to have a possibility of industrial applications as a micro-to-nano machining tool.

収録刊行物

• 精密工学会誌論文集

  精密工学会誌論文集 70 (11), 1402-1406, 2004

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• diamond array tool
• silicon mold
• diamond CVD
• anisotropic wet etching

詳細情報

• CRID: 1390001205281567488
• NII論文ID: 110001824074
• NII書誌ID: AA11966630
• DOI: 10.2493/jspe.70.1402
• ISSN: 18818722
• ISSN: 13488716
• ISSN: 13488724
• NDL書誌ID: 7144088
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7144088
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可