25pL-9 アモルファスSi/SiO_2多層膜のa-Siのラマン散乱

• 王 勇

  阪大院理

• 松田 理

  北大工

• 邑瀬 和生

  阪大院理

書誌事項

タイトル別名

• Raman scattering investigation of the structure of amorphous silicon in a-Si/SiO_2 superlattice films

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 55.1.4 (0), 608-, 2000

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390001206033252096
• NII論文ID: 110001914670
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.55.1.4.0_608_4
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles