29p-PS-2 サイズ選別した高密度中性半導体クラスター発生法の開発(2)

• 若林 知成

  都立大理

• 鈴木 信三

  都立大理

• 城丸 春夫

  都立大理

• 阿知波 洋次

  都立大理

書誌事項

タイトル別名

• 29p-PS-2 Size-Selected and High-Density Neutral Cluster Beam of Semiconductor Materials (2)

収録刊行物

• 年会講演予稿集

  年会講演予稿集 47.2 (0), 459-, 1992

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282681185869696
• NII論文ID: 110002173547
• DOI: 10.11316/jpsgaiyod.47.2.0_459_2
• ISSN: 24331139
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles