29p-PSB-10 Si(100)上のTi薄膜の初期成長形態

• 石山 謙吾

  豊田中研

• 佐藤 智重

  日本電子

• 末吉 孝

  日本電子

• 岩槻 正志

  日本電子

• 多賀 康訓

  豊田中研

書誌事項

タイトル別名

• 29p-PSB-10 Initial growth morphology of Ti on Si(001)

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集. 年会

  日本物理学会講演概要集. 年会 48.2 (0), 429-, 1993

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282681166685568
• NII論文ID: 110002216123
• DOI: 10.11316/jpsgaiyog.48.2.0_429_1
• ISSN: 24331112
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles