AlN焼結体の酸素と水蒸気による酸化

• 黒光 祥郎

  三菱マテリアル (株) 中央研究所

• 吉田 秀昭

  三菱マテリアル (株) 中央研究所

• 大野 進司

  (株) 三菱総合研究所

• 升田 裕久

  九州大学大学院総合理工学研究科材料開発工学専攻

• 武部 博倫

  九州大学大学院総合理工学研究科材料開発工学専攻

• 森永 健次

  九州大学大学院総合理工学研究科材料開発工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Oxidation of Sintered Aluminum Nitride by Oxygen and Water Vapor
• AlN ショウケツタイ ノ サンソ ト スイジョウキ ニ ヨル サンカ

抄録

Oxidation behavior of sintered AlN by oxygen and water vapor was studied at 1400°C for the purpose of surface treatment. The partial pressure of oxygen, P_o₂ was controlled at 10^-10 and 10kPa, and that of water vapor, P_H₂O was changed at 5.0×10^-2 to 8.5kPa. The oxidation product detected by XRD was α-Al₂O₃. Oxidation rate was increased with increasing P_H₂O. The weight gain with time by oxygen was parabolic, and that by water vapor was linear. The Al₂O₃ layer formed by the oxidation of sintered AlN with oxygen was relatively dense, and coherent. The oxidation kinetics were discussed using the mixed-control rate equation on the basis of unreacted-core model.

収録刊行物

• Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌)

  Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌) 100 (1157), 70-74, 1992

  公益社団法人 日本セラミックス協会

キーワード

• AlN
• Oxidation
• Al₂O₃
• Oxygen
• Water vapor
• Surface treatment
• Kinetics

詳細情報

• CRID: 1390282680255499264
• NII論文ID: 110002287913
• NII書誌ID: AN10040326
• DOI: 10.2109/jcersj.100.70
• ISSN: 18821022
• ISSN: 09145400
• NDL書誌ID: 3758163
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3758163
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jcersj1988/100/1157/100_1157_70/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可