ZnO/SiCヘテロコンタクトを用いた塩素ガス検知

• 宮山 勝

  東京大学先端科学技術研究センター

• 矢田部 英爾

  東京大学先端科学技術研究センター

• 中村 吉伸

  東京大学先端科学技術研究センター

• 柳田 博明

  東京大学先端科学技術研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Chlorine Gas Sensing Using ZnO/SiC Hetero-Contact
• ZnO SiC ヘテロ コンタクト オ モチイタ エンソ ガス ケンチ エイブ

抄録

Chlorine gas sensing characteristics of ZnO/SiC hetero-contact was measured at 20°C in the Cl₂ concentration range from 400 to 1600ppm. The current-voltage curve of the contact showed a rectifying character in which the forward-direction bias is positive on SiC. The current at the forward bias decreased with increasing Cl₂ concentration up to 1600ppm. No sensitivity against H₂ and HCl gases was observed. From the capacitance-voltage relations, height of the potential barrier at ZnO surface was found to increase by introduction of Cl₂ gas.

収録刊行物

• 窯業協會誌

  窯業協會誌 95 (1107), 1145-1147, 1987

  公益社団法人 日本セラミックス協会

キーワード

• Zinc oxide
• Silicon carbide
• Hetero-contact
• Chlorine gas
• Gas sensor

詳細情報

• CRID: 1390001205248996608
• NII論文ID: 110002313756
• NII書誌ID: AN00245650
• DOI: 10.2109/jcersj1950.95.1107_1145
• ISSN: 18842127
• ISSN: 00090255
• NDL書誌ID: 3156377
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3156377
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jcersj1950/95/1107/95_1107_1145/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可