電気抵抗温度依存性の測定によるアルミニウム薄膜の音速評価

• 孫 新

• 小竹 茂夫

• 鈴木 泰之

• 妹尾 允史

書誌事項

タイトル別名

• Evaluation of Sound Velocity of Aluminum Films by Measurements of Temperature Dependence of Electrical Resistivities.
• デンキ テイコウ オンド イゾンセイ ノ ソクテイ ニ ヨル アルミニウム ハ

抄録

The evaluation of sound velocity, elastic constant of thin film has not been well established. The relation between electrical resistivity and sound velocity has been clarified from the calculation on the temperature dependence of electrical resistivity by well-known linear response theory. From the experimental data of electrical resistivity, we evaluated sound velocity and elastic constant of thin films by using the linear response theory, pseudopotential method. We also confirmed the method to evaluate the mechanical properties of thin film by measuring electrical resistivity.

収録刊行物

• 日本機械学会論文集Ａ編

  日本機械学会論文集Ａ編 64 (621), 1410-1414, 1998

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Relaxation Time
• Linear Response Theory
• Force-Force Correlation Function
• Pseudopotential Method

詳細情報

• CRID: 1390282679424779392
• NII論文ID: 110002374588
• NII書誌ID: AN0018742X
• DOI: 10.1299/kikaia.64.1410
• ISSN: 18848338
• ISSN: 03875008
• HANDLE: 10076/8799
• NDL書誌ID: 4475371
• Web Site: https://mie-u.repo.nii.ac.jp/records/8280
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4475371
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/kikaia1979/64/621/64_621_1410/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • IRDB
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可