サーフェイスモータを用いた六自由度精密XYステージの開発

• 富田 良幸

• 杉峰 正信

• 小梁川 靖

書誌事項

タイトル別名

• サーフェイス モータ オ モチイタ 6ジユウド セイミツ XY ステージ ノ

収録刊行物

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 62 (597), 1840-1847, 1996-05

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

詳細情報

• CRID: 1520009407375266816
• NII論文ID: 10005309757
• NII論文ID: 110002382663
• NII書誌ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 3966611
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3966611
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles