窒化炭素/窒化ホウ素超格子積層膜の形成とそのマイクロトライボロジー特性

• 三宅 正二郎

• 関根 幸男

• 渡部 修一

書誌事項

タイトル別名

• チッカ タンソ チッカ ホウソ チョウコウシ セキソウ マク ノ ケイセイ ト ソノ マイクロトライボロジー トクセイ

収録刊行物

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 65 (639), 4496-4501, 1999-11

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

詳細情報

• CRID: 1520290882403655808
• NII論文ID: 110002384532
• NII論文ID: 10004831328
• NII書誌ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 4921719
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4921719
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles