528 表面に保護膜を有する多結晶配線のエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータの実験的検証(OS7-3 損傷・破壊)(OS7 微視構造を有する材料の力学)  [in Japanese] 528 Verification of the Governing Parameter for Electromigration Damage in Polycrystalline Line with Passivation Layer  [in Japanese]

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Keywords

• Electromigration
• Atomic Flux Divergence
• Governing Parameter
• Passivated Polycrystalline Line

Codes

• NII Article ID (NAID) :

  110002487157

• NII NACSIS-CAT ID (NCID) :

  AA11902139

• Text Lang :

  JPN

• Databases :

  NII-ELS