118 気相合成ダイヤモンドのナノストラクチャとき裂進展抵抗

• 高橋 博紀

  東北大

• 神谷 庄司

  東北大

• 坂 真澄

  東北大

• 阿部 博之

  東北大

書誌事項

タイトル別名

• Nanoscopic Crystalline Structures and Crack Extension Resistance of Chemically Vapor Deposited Diamond

抄録

This paper reports the toughness of CVD diamond films in connection to their nanoscopic crystalline structures. We examined the toughness of diamond films deposited on silicon wafers with various methane concentrations in the source gas mixture. The crack paths and crystalline morphologies of deposited diamond were observed in detail by using scanning and transmission electron microscopy. Discussion would be focused on the correlation between the crack extension resistance and crystalline morphologies of diamond films.

収録刊行物

• 関西支部講演会講演論文集

  関西支部講演会講演論文集 2002.77 (0), _1-45_-_1-46_, 2002

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• CVD Diamond films
• Fracture Toughness
• Nanoscopic Crystalline Structure

詳細情報

• CRID: 1390001205849260416
• NII論文ID: 110002492567
• DOI: 10.1299/jsmekansai.2002.77._1-45_
• ISSN: 24242756
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekansai/2002.77/0/2002.77__1-45_/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可