精密加工技術を用いた新しい構造の半導体ピエゾ抵抗式加速度センサ New Structure of PiezoresistiveAccelerometer with Precise Fabrication Techniques

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抄録

The accelerometer was manufactured by newly developed techniques. Thesensor has cantilever type structure and a detection element that runs parallel to the direction of acceleration.The mainly manufacturing process useddicing saw for cutting the sensor chip.The sensor shows excellent performance such as linearity, frequency response. This paper suggests a new method and new structure for fabricating an accelerometer.

収録刊行物

  • マイクロメカトロニクス

    マイクロメカトロニクス 42(2), 19-29, 1998-06-10

    一般社団法人日本時計学会

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    110002687068
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11646924
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13438565
  • NDL 記事登録ID
    4487658
  • NDL 雑誌分類
    ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-440
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS 
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