マイクロマシン技術を用いた高耐圧マイクロポンプの開発 Development of High Pressure-Resistance Micropump using Micromachining Technology

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抄録

A novel micropump that has two active and normally-closed valves was developed using micromachine technology. This micropump can pump in forward and backward direction, and hold the fluid without consuming energy even when the fluid source has some pressure. These normally-closed valves are manufactured by filling up silicone rubber paste after bonding a glass substrate and a silicon substrate. Silicone rubber works as a"gate"for shutting off the flow. Therefore, high pressure-resistance micropump is realized with no influence of fabrication error. In this paper, basic characteristics of this micropump about flow rate, outlet pressure and pressure-resistance are described.

収録刊行物

  • マイクロメカトロニクス

    マイクロメカトロニクス 44(3), 47-55, 2000-09-10

    一般社団法人日本時計学会

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    110002687168
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11646924
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13438565
  • NDL 記事登録ID
    5475341
  • NDL 雑誌分類
    ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-440
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS 
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