シリコンの気相成長における結晶表面形態II : モルフォロジー

• 宮本 信雄

  東北大学電気通信研究所

• 高橋 勝徳

  東北大学電気通信研究所

• 小野寺 勤

  東北大学電気通信研究所

書誌事項

タイトル別名

• シリコンの気相成長における結晶表面形態-2-
• シリコン ノ キソウ セイチョウ ニ オケル ケッショウ ヒョウメン ケイタイ

収録刊行物

• 日本結晶成長学会誌

  日本結晶成長学会誌 10 (1), 15-, 1983

  日本結晶成長学会

詳細情報

• CRID: 1390001205863812224
• NII論文ID: 110002713043
• NII書誌ID: AN00188386
• DOI: 10.19009/jjacg.10.1_15
• ISSN: 21878366
• ISSN: 03856275
• NDL書誌ID: 2596749
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I2596749
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles