シリコン単結晶の融液成長におけるドーパント不純物の偏析現象 : バルク成長シンポジウムII
書誌事項
- タイトル別名
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- Segregation behavior of dopant impurities during growth of silicon single crystal from the melt
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収録刊行物
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- 日本結晶成長学会誌
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日本結晶成長学会誌 22 (3), 152-, 1995
日本結晶成長学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205863966720
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- NII論文ID
- 110002714432
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- NII書誌ID
- AN00188386
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- ISSN
- 21878366
- 03856275
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles