ウェハローブを用いた薄膜インダクタの高周波インピーダンス測定

• 山口 正洋

  東北大学電気通信研究所

• 高橋 祐一

  東北学院大学工学部

• 荒井 賢一

  東北大学電気通信研究所

• 菊地 新喜

  東北学院大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• Measurement of the High-Frequency Impedance of Thin-Film Inductors by Means of a Waferprobe
• ウェハプローブを用いた薄膜インダクタの高周波インピーダンス測定
• ウェハ プローブ オ モチイタ ハクマク インダクタ ノ コウシュウハ インピ

抄録

This paper discusses measurement of the impedance of thin-film inductors up to the GHz frequency range. We made thin-film inductors based on the silicon process, and investigated a technique for measuring their high-frequency impedance by means of a waferprobe. A waferprobe with precise dimensions permits impedance matching between the inductor and the measurement instrument. We improved the reading of the measurement data and measured the inductance of thin-film inductors accurately up to the GHz frequency range.

収録刊行物

• 日本応用磁気学会誌

  日本応用磁気学会誌 22 (4_2), 861-864, 1998

  公益社団法人 日本磁気学会

キーワード

• measurement of the impedance
• thin-film inductors
• GHz frequency range
• semiconductor process
• high-frequency impedance waferprobe

詳細情報

• CRID: 1390282680070399616
• NII論文ID: 110002811558
• NII書誌ID: AN0031390X
• DOI: 10.3379/jmsjmag.22.861
• ISSN: 18804004
• ISSN: 02850192
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/02850192
• NDL書誌ID: 4458168
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4458168
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10463976
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可