イオンクロマトグラフィーによる超大規模集積回路用有機材料中の微量陰イオンの定量

• 橋本 芳美

  (株)東芝研究開発センター環境技術·分析センター:212-8582 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1

• 林 勝

  (株)東芝研究開発センター環境技術·分析センター:212-8582 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1

• 岡田 章

  (株)東芝研究開発センター環境技術·分析センター:235-8522 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8

書誌事項

タイトル別名

• Determination of trace anion by ion chromatography in organic materials for ultra large scale integration.
• イオン クロマトグラフィー ニ ヨル チョウダイキボ シュウセキ カイロヨウ ユウキ ザイリョウ チュウ ノ ビリョウ インイオン ノ テイリョウ

抄録

超大規模集積回路(ULSI)の信頼性などに悪影響を及ぼす有機材料(レジスト,ポリイミド等)中の微量不純物の管理分析にIC法による陰イオン分析法を適用した。また,含有不純物の総量及び腐食評価に有効な方法として,陰イオン性不純物を分別測定できる試料前処理法を検討した。陰イオン性不純物の総含有量の定量にはアルカリ融解法,表面及び材料内部のイオン性不純物の定量には熱水加圧抽出法,残留フラックスなどからの選択抽出にはアセトン抽出法,レジスト,オイルなどの液体試料にはトリクロロメタン-水抽出法を検討した。更に,IC測定では,試料溶液中のマトリックスの影響を少なくするため,アルカリイオンを除去する方法を検討した。以上の検討により,ppbレベルのULSI用の各種有機材料中の微量陰イオン性不純物を定量分析できた。

収録刊行物

• 分析化学

  分析化学 49 (8), 611-617, 2000

  公益社団法人 日本分析化学会

キーワード

• ion chromatography
• trace analysis
• organic materials
• anion impurities
• ULSI

詳細情報

• CRID: 1390001204053584512
• NII論文ID: 110002907421
• NII書誌ID: AN00222633
• DOI: 10.2116/bunsekikagaku.49.611
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD3cXmsVGnsL8%3D
• NDL書誌ID: 5451083
• ISSN: 05251931
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5451083
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/bunsekikagaku/49/8/49_8_611/_pdf
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10894821
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可