シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ

• 黒澤 実

  東京大学大学院 工学系研究科 精密機械工学専攻

• 刑部 尚樹

  東京大学大学院 工学系研究科 精密機械工学専攻

• 東條 啓一郎

  東京大学大学院 工学系研究科 精密機械工学専攻

• 高崎 正也

  東京大学大学院 工学系研究科 精密機械工学専攻

• 樋口 俊郎

  東京大学大学院 工学系研究科 精密機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Surface Acoustic Wave Motor with a Silicon Slider

抄録

駆動表面を微細加工したシリコンスライダを用いることにより、微小鋼球による多接点スライダを用いた場合に比べ、約8倍の推力と約4倍の最大速度を得ることに成功した。スライダとステータ振動子との接触面積を大きくするために、シリコンスライダを作成した。その結果、最大推力3.5N、最大速度1m/s以上、分解能40nm以下、応答周波数130kHz以上という駆動特性が得られた。シリコンスライダの形状を変えることにより、更なる駆動特性の向上の可能性も示された。また、駆動エネルギを還流する方法を考案し、実験により実証した。

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料

  電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 98 (163), 55-62, 1998-07-03

  一般社団法人電子情報通信学会

キーワード

• リニアモータ
• 超音波モータ
• マイクロアクチュエータ
• 摩擦駆動
• 弾性表面波
• SAWデバイス

詳細情報

• CRID: 1572824502213163520
• NII論文ID: 110003199334
• NII書誌ID: AN10012932
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles