ZnO薄膜を表面に生成させたATカット水晶振動子の周波数湿度特性

• 黒岩 真弓

• 中澤 光男

• 佐野 東樹

書誌事項

タイトル別名

• ZnO ハクマク オ ヒョウメン ニ セイセイ サセタ AT カット スイショウ シンドウシ ノ シュウハスウ シツド トクセイ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101 (395), 125-130, 2001-10-26

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 周波数温度特性
• AT-Cut quartz crystal resonator
• ZnO thin film
• frequency temperature characteristics
• frequency humidity characteristics

詳細情報

• CRID: 1520572358123958912
• NII論文ID: 110003199734
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 5976262
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5976262
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles