メモリ用PZT薄膜の開発と応用--The Development and Application of PZT Thin Films for Memories

• 中村 孝

書誌事項

タイトル別名

• メモリヨウ PZT ハクマク ノ カイハツ ト オウヨウ The Development and Application of PZT Thin Films for Memories

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 99 (670), 37-42, 2000-03-08

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 強誘電体メモリ
• PZT薄膜
• ゾルーゲル法
• STC構造
• 低電圧化
• Ferroelectric Memory
• Sol-Gel method
• STC structure
• Low voltage operation

詳細情報

• CRID: 1520853835228480512
• NII論文ID: 110003201014
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 5358370
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5358370
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles