Si1-xGexチャネルpMOSFETにおける低周波雑音とSi1-xGex/Siヘテロ構造品質との対応

• 土屋 敏章

• 松浦 孝

• 室田 淳一

書誌事項

タイトル別名

• Si1 xGex チャネル pMOSFET ニ オケル テイシュウハ ザツオン ト Si1 xGex Si ヘテロ コウゾウ ヒンシツ ト ノ タイオウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101 (83), 69-73, 2001-05-25

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• SiGe
• MOSFET
• SiGe/Siヘテロ構造
• 低周波雑音
• SiGe/Si heterostructure
• low frequency noise

詳細情報

• CRID: 1520009407256187008
• NII論文ID: 110003310799
• NII論文ID: 110003201329
• NII論文ID: 110003199657
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 5801002
• NDL書誌ID: 5801336
• NDL書誌ID: 5801556
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5801002
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5801336
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5801556
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles