AlNおよびAlInN系ナイトライドの成長と物性

書誌事項

タイトル別名
  • AlN オヨビ AlInNケイ ナイトライド ノ セイチョウ ト ブッセイ
  • 小特集テーマ 進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状
  • ショウトクシュウ テーマ シンテン スル チッカブツ ハンドウタイ ヒカリ デンシ デバイス ノ ゲンジョウ

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