GaN薄膜のアンモニアMBE成長におけるインジェクターの加熱効果

• 柴田 知己

• 金 聖祐

• 赤津 政宏

書誌事項

タイトル別名

• GaN ハクマク ノ アンモニア MBE セイチョウ ニ オケル インジェクター ノ カネツ コウカ
• 小特集テーマ 進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状
• ショウトクシュウ テーマ シンテン スル チッカブツ ハンドウタイ ヒカリ デンシ デバイス ノ ゲンジョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 102 (117), 53-56, 2002-06-13

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• アンモニア-MBE
• GaAs基板
• GaNAsバッファ
• アンモニアインジェクター
• ammonia-MBE
• GaN thin films
• GaAs substrate
• GaNAs buffer
• ammonia injector

詳細情報

• CRID: 1520572357037657344
• NII論文ID: 110003201573
• NII論文ID: 110003306668
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 6221880
• NDL書誌ID: 6221942
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6221880
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6221942
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles