マイクロアクチュエータとその応用

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所第3部

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所第3部

書誌事項

タイトル別名

• Actuators and their Applications

抄録

半導体マイクロマシニングで作るミクロンサイズのアクチュエータについて、その原理、構造、応用などを紹介する。静電気で動くマイクロミラーのアレイを用いた光スイッチ、形状記憶合金薄膜のマイクロアクチュエータ、ミリ波アンテナの走査用のマイクロアクチュエータ、スクラッチドライブ静電アクチュエータによる立体マイクロ構造の自己構築などを例に、最近の研究事例を述べる。また、自律分散マイクロシステムの概念について紹介する。
Driving principles, configurations and applications of micromachined actuators are reviewed. Examples include (1)an optical matrix switch composed of arrayed torsional micromirrors which are driven by electrostatic force, (2)a microactuator using thin film shape memory alloy (TiNi), (3)a microactuator for scanning a microwave antenna, and (4)self-assembly of three-dimensional microstructures by scratch drive microactuators. A system architecture, an autonomous distributed micro system, is proposed to make best use of micromechatronic technology.

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス

  電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス 97 (12), 1-6, 1997-04-18

  一般社団法人電子情報通信学会

キーワード

• マイクロマシン
• 光スイッチ
• 形状記憶合金
• マイクロ波
• 立体マイクロ構造
• 自律分散システム

詳細情報

• CRID: 1570572702387197952
• NII論文ID: 110003293077
• NII書誌ID: AN10383978
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • CiNii Articles