TOF-SIMSによる表面分析  [in Japanese] Surface Analysis by TOF-SIMS  [in Japanese]

電気接点の現象は、その表面化学状態に敏感に依存している。したがって、表面の化学状態を明らかにしておくことは、電気接点現象を解明するために重要である。ここでは、最近普及し始めている飛行時間型二次イオン質量分析計 (TOF-SIMS) の原理を紹介するとともに、TOF-SIMSを用いた表面分析により得られる特徴的な結果を示す。また、磁気ディスク表面の極薄膜潤滑油の化学状態分析にTOF-SIMSを応用した例も紹介する。

Electric contact phenomena are sensitive to surface chemical states of contact materials. In order to understand the phenomena, we need good surface analytical tools for analyzing surface chemical structures. I will introduce the principle of TOF-SIMS and typical results obtained by it. Surface analysis of magnetic recording disks with TOF-SIMS will be also introduced.