マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS

• 江刺 正喜

• 小野 崇人

• Minh Ngoc Phan

書誌事項

タイトル別名

• マイクロ ナノマシニング ニ ヨル MEMS NEMS

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 103 (285), 13-18, 2003-09-02

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• マイクロマシニング
• ナノマシニング
• Micro Electro Mechanical Systems
• Nano Electro Mechanical Systems

詳細情報

• CRID: 1520009408310415360
• NII論文ID: 110003300383
• NII論文ID: 110003175391
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 6731522
• NDL書誌ID: 6731626
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6731522
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6731626
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles