レーザを用いたナノメートル精度の光導波路回路用自動パターン描画システム  [in Japanese] Automatic Laser Drawing System for Optical Waveguide Circuits with Nanometer Precision using Laser  [in Japanese]

導波型光回路機能素子を試作する際、高精度な導波路パターニングが要求される。本論文では、10ナノメートル程度以下の高精度なレーザ描画装置のためのステージ制御の検討を行った。ステッピングモータ駆動のパルスステージとピエゾ素子駆動のピエゾステージを組み合わせ、アナログおよびディジタルフィードバックを併用することにより、高分解能で振動の少ないステージ制御が可能となる。ピエゾステージにより、パルスステージのパルス駆動に伴う振動を10nm以下に抑え、さらに1ステップ約20nmのパルスステージとピエゾステージの連動制御を用いることにより高分解能の制御を行う。

Precise patterning of optical waveguides is required in fabrication of integrated-optic circuits.In this paper, stage control for laser drawing system with 10nm precision is investigated.The precise control is performed by analog and digital feedback with pulse stages and piezo stages.Mechanical fluctuation and vibration due to pulse drive by stepping motors are compensated by piezo stage.Further, cooperation of pulse and piezo stages makes smooth translation of stage possible.