Read/Search this Article
Abstract
ウェーハ1枚当りのチップ収量を最大とするため, 最近, チップ格子上のウェーハ配置に注目が集まっている.しかし, この最適化問題に対する真の最適解を求めるアルゴリズムは, これまで示されていなかった.本論文では, チップ収量が増減する幾何学的条件を明らかにし, グラフ理論と計算幾何学に基づいて, 真の最適解を与えるアルゴリズムを示した.これは, 真の最適解を与えるアルゴリズムとしては初めてのものであるだけでなく, ウェーハ位置の誤差も考慮した実用的なものである.なお, ウェーハ中心をチップ中心あるいは四隅に配置する素朴なアルゴリズムと比較した場合, 本アルゴリズムはチップ収量率を最大8%増加させる.
Journal
- The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. A [List of Volumes]
-
The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. A J88-A(4), 490-497, 2005-04-01 [Table of Contents]
The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers
Share