多結晶Si薄膜の結晶欠陥と結晶粒径の関係

• 松尾 直人

• 衣笠 彰則

• 綾 洋一郎

書誌事項

タイトル別名

• タケッショウ Si ハクマク ノ ケッショウ ケッカン ト ケッショウ リュウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編

  電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 80 (7), 245-248, 1997-07

  東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ

詳細情報

• CRID: 1520572360256997504
• NII論文ID: 110003314674
• NII書誌ID: AN10071294
• ISSN: 09151907
• NDL書誌ID: 4267334
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4267334
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles