C-11-6 Floating Channel type SGT(FC-SGT) Flashメモリセルにおけるフローティングチャネル形成プロセス

• 岩井 信

  東北大学電気通信研究所

• 遠藤 哲郎

  東北大学電気通信研究所

• 桜庭 弘

  東北大学電気通信研究所

• 舛岡 富士雄

  東北大学電気通信研究所

書誌事項

タイトル別名

• A Floating Channel fabrication process for Floating Channel type SGT(FC-SGT) Flash Memory Cell

収録刊行物

• 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集

  電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2000 (2), 74-, 2000-09-07

  一般社団法人電子情報通信学会

詳細情報

• CRID: 1571698602335618432
• NII論文ID: 110003349171
• NII書誌ID: AN10489017
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles