Mn-Ir反強磁性層の組織とNi-Fe層との交換結合  [in Japanese] Film texture of Mn-Ir antiferromagnetic layers and exchange couplings with Ni-Fe layers  [in Japanese]

スピンバルブ用の反強磁性層としてMn-Ir系合金を検討した。本研究では、イオンビームスパッタリング装置により、種々の条件でMn-Ir/Ni-Fe多層膜を形成し、Ni-Fe磁性層に印加される交換バイアス磁界の変化について系統的に調べた。その結果、Mn-Ir層の平均結晶粒径を大きくすると、Ni-Fe層に印加される交換バイアス磁界が高くなることを明らかにした。[Hf(5nm)/Mn-Ir(15nm)/Ni-Fe(5nm)/Hf(5nm)/Si基板]の積層構造において得られた最も高い交換バイアス磁界は、約15kA/mであった。

A Mn-Ir alloy was investigated for antiferromagnetic layers used in spin-valve multilayers. In this study, Mn-Ir/Ni-Fe multilayers were formed by ion beam sputtering with various sputtering conditions. Exchange bias fields applied to the Ni-Fe layers were systematically investigated. When a mean diameter of the Mn-Ir antiferromagnetic layers was large, the exchange bias field applied to the Ni-Fe layers became high. The highest exchange bias field was about 15 kA/m in the [Hf (5nm)/Mn-Ir (15nm)/Ni-Fe (5nm)/Hf (5nm)/Si-substrate] multilayers.