Cyclotron Resonance Mass Spectrometry of Ionic Radicals in Magnetized CF_4 Plasma (<Special Issue> Plasma Processing)

• MIENO T.

  Department of Physics, Faculty of Science, Shizuoka University

収録刊行物

• Jpn. J. Appl. Phys.

  Jpn. J. Appl. Phys. 33 4325-, 1994

  社団法人応用物理学会

キーワード

• cyclotron resonance
• mass spectrometer
• magnetized plasma
• carbon tetrafluoride
• ionic radical
• fluorine ion
• negative ion

詳細情報

• CRID: 1574231877106945152
• NII論文ID: 110003903765
• NII書誌ID: AA10457675
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • CiNii Articles