NiCr薄膜抵抗体における熱歪と抵抗温度係数(TCR)特性

• 岩坪 聡

• 清水 孝晃

• 津幡 健

書誌事項

タイトル別名

• NiCr ハクマク テイコウタイ ニ オケル ネツ ワイ ト テイコウ オンド ケイスウ TCR トクセイ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (393), 1-6, 2005-11-11

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 温度抵抗係数
• スパッタリング
• 機械的特性
• 電気的特性
• Temperature Coefficient of Resistance
• film
• sputtering
• mechanical properties
• electrical properties

詳細情報

• CRID: 1520853833971480448
• NII論文ID: 110004019675
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 7747676
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7747676
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles