高性能繊維層フィルターにおけるリークの特性

• 西村 直也

  東京工業大学大学院情報理工学研究科

• 藤井 修二

  東京工業大学大学院情報理工学研究科

• 湯浅 和博

  東京工業大学工学部建築学科

書誌事項

タイトル別名

• CHARACTERISTICS OF FILTER LEAKAGE FOR HIGH-EFFICIENCY FIBROUS FILTER
• コウセイノウ センイソウ フィルター ニ オケル リーク ノ トクセイ

抄録

Air filter leakage is one of the most important control point for verification and qualification of cleanliness of cleanrooms. In this paper, a model that expresses the number of penetrated particles through high-efficiency fibrous air filter with pin hole is proposed, by using 3 dimensionless parameters for the fundamental study of establishing filter leakage testing method. Leak rate and limitation of judgment caused by the difficulty of identifying the leakage particles from all the particles are calculated. The result of the calculation is that the face velocity have a great influence on the leak rate and limitation of judgment.

収録刊行物

• 日本建築学会計画系論文集

  日本建築学会計画系論文集 64 (515), 83-88, 1999

  日本建築学会

キーワード

• フィルターリーク
• クリーンルーム
• 検定法
• ETFLモデル

詳細情報

• CRID: 1390282679758748928
• NII論文ID: 110004657203
• NII書誌ID: AN10438548
• DOI: 10.3130/aija.64.83_1
• ISSN: 18818161
• ISSN: 13404210
• NDL書誌ID: 4638584
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4638584
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/aija/64/515/64_KJ00004225394/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可