超精密加工システムの最新動向

• 鈴木 浩文

  神戸大学工学部

• 山形 豊

  理化学研究所

• 樋口 俊郎

  東京大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Recent trend in Ultra-precision Machining System
• テンボウ チョウセイミツ カコウ システム ノ サイシン ドウコウ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 72 (4), 417-421, 2006

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• Ultra-precision machining system
• recent trend

詳細情報

• CRID: 1390001204796812160
• NII論文ID: 110004702782
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.72.417
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 7920011
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7920011
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles