リニアモータ駆動大型超精密研削加工システム

書誌事項

タイトル別名
  • Ultra Precision Large Size Grinding System with Linear Motor Drive
  • リニアモータ クドウ オオガタ チョウセイミツ ケンサク カコウ システム

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 72 (4), 431-434, 2006

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (4)*注記

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