5-11 CCDイメージセンサにおける水平駆動電圧低減の検討

DOI
  • 山田 徹
    日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
  • 川上 幸也
    日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
  • 中野 隆
    日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
  • 武藤 信彦
    日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
  • 寺西 信一
    日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所

書誌事項

タイトル別名
  • A Study on Horizontal Driving Voltage Reduction in CCD Image Sensor

抄録

To realize low driving voltage in H-CCD, optimum conditions of barrier regions, such as edge positions of boron implanted areas and doses of boron implantation, are researched by using potential simulations. Simulated results indicate that implanting boron ions not only under second electrode but also under electrode gaps helps suppress potential dips under the gaps and strengthen transfer fields. Under this condition, H-CCD can be driven by the driving voltage under 2V.

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001204449176576
  • NII論文ID
    110004774334
  • DOI
    10.11485/tvac.31.0_91
  • ISSN
    24330930
    09191879
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ