Evaluation of [111]-Textured Cu Layer Formed on Thin Nb Barrier Layer on SiO2

• Md. Maniruzzaman

• Mayumi B. Takeyama

• Masaru Sato

書誌事項

タイトル別名

• Evaluation of 111 Textured Cu Layer Formed on Thin Nb Barrier Layer on SiO2
• AWAD2006
• AWAD2006

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (137), 217-222, 2006-07

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• Cu [111] texture
• Thin Nb layer
• Preferential orientation
• X-ray reflectivity

詳細情報

• CRID: 1520290882063989120
• NII論文ID: 110004813227
• NII論文ID: 110004840463
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 8016075
• NDL書誌ID: 8016862
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8016075
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8016862
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles