406 スパッタ薄膜の耐摩耗性とマイクロエッジインデント法によるはく離強度評価(破壊の発生とその評価,破壊の発生・進展とその評価および抑制,オーガナイスドセッション・8,第53期学術講演会)  [in Japanese]

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• NII Article ID (NAID) :

  110004870550

• NII NACSIS-CAT ID (NCID) :

  AA11881527

• Text Lang :

  JPN

• Databases :

  NII-ELS